德國(guó)Phytron步進(jìn)電機(jī)

　　Phytron步進(jìn)電機(jī)是德國(guó)Phytron公司生產(chǎn)的高性能、高精度步進(jìn)電機(jī)，具有多種型號(hào)和特性，適用于各種需要精確控制和定位的場(chǎng)合。

　　一、技術(shù)特點(diǎn)

　　高精度：Phytron步進(jìn)電機(jī)采用精密加工和超精密磨削技術(shù)，步進(jìn)角誤差小，可實(shí)現(xiàn)高精度的定位和運(yùn)動(dòng)控制。例如，VSH-80步進(jìn)電機(jī)的步距角為1.8°，分辨率高達(dá)6000步/轉(zhuǎn)。

　　高轉(zhuǎn)矩：Phytron步進(jìn)電機(jī)具有較大的輸出力矩，能夠滿足各種高負(fù)載應(yīng)用的需求。例如，ESS電機(jī)最大力矩為3.5Nm，ESH電機(jī)大力矩為7Nm。

　　高速：Phytron步進(jìn)電機(jī)具有較高的啟動(dòng)和運(yùn)行速度，能夠在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)精確的定位和控制。例如，ESS電機(jī)大轉(zhuǎn)速為3000轉(zhuǎn)/分鐘，ESH電機(jī)大轉(zhuǎn)速為1500轉(zhuǎn)/分鐘。

　　長(zhǎng)壽命：采用優(yōu)質(zhì)材料和精密制造工藝，確保了電機(jī)的長(zhǎng)壽命和可靠性。

　　易于控制：Phytron步進(jìn)電機(jī)可采用開(kāi)環(huán)或閉環(huán)控制方式，方便用戶根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行選擇。同時(shí)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)器可接收脈沖信號(hào)或模擬信號(hào)輸入，實(shí)現(xiàn)電機(jī)的速度和位置控制。

　　良好的兼容性：Phytron步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)器和控制器可與多種主流品牌的PLC和運(yùn)動(dòng)控制器兼容，方便用戶進(jìn)行集成和控制。

　　二、產(chǎn)品系列與型號(hào)

　　Phytron步進(jìn)電機(jī)擁有多個(gè)系列和型號(hào)，以滿足不同用戶的需求。以下是一些常見(jiàn)的系列和型號(hào)：

　　ESS/ESH系列：高性能、高品質(zhì)的步進(jìn)電機(jī)產(chǎn)品，適用于各種需要精確控制和定位的場(chǎng)合。ESS電機(jī)步進(jìn)角為7.5°，ESH電機(jī)步進(jìn)角為15°。

　　VSHE-FV-8L系列：采用雙極性連接，額定電壓為230V，額定電流為39A。步進(jìn)角為1.8°，可通過(guò)微步進(jìn)技術(shù)實(shí)現(xiàn)更高的分辨率。

　　ZSH87/1系列：永磁式步進(jìn)電機(jī)，采用高性能的釹鐵硼磁鋼和優(yōu)質(zhì)硅鋼片，具有高扭矩、高精度、低慣量和低噪音等優(yōu)點(diǎn)。

　　PhySPACE25系列：體積小、重量輕，便于在空間有限的場(chǎng)合安裝和使用。同時(shí)，它還具有高精度、高扭矩和低噪音等特點(diǎn)。

　　ZSS/ZSH系列：兩相混合式步進(jìn)電機(jī)，支持單極、雙極控制，保持力矩從3.8-700mNm，法蘭尺寸從19-56mm。

　　半導(dǎo)體制造：真空/潔凈環(huán)境下的納米級(jí)定位

　　Phytron真空系列電機(jī)（VSS/VSH）適配10??mbar超高真空與Class1潔凈室，是晶圓處理、光刻、蒸鍍/刻蝕的核心驅(qū)動(dòng)部件。

　　關(guān)鍵應(yīng)用：晶圓載臺(tái)對(duì)準(zhǔn)（±0.1μm/s平移，納米級(jí)定位）、光刻物鏡校準(zhǔn)、真空蒸鍍靶材平移（±1μm精度）、刻蝕腔室樣品臺(tái)驅(qū)動(dòng)、CVD/PVD設(shè)備的晶圓搬運(yùn)。

　　核心型號(hào)：VSS系列（真空兼容）、Lithotec®配套驅(qū)動(dòng)電機(jī)（與光刻機(jī)同源材料適配）。

　　技術(shù)價(jià)值：耐-196℃~+125℃寬溫，無(wú)油潤(rùn)滑適配高潔凈，保障5nm及以下制程良品率。

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